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オゾン供給機

EB装置用オゾンガス供給機

機能・特長

  • パーティクルが発生せず、窒素フリーで高濃度オゾンが生成可能。
  • 微量のオゾンガスを精度よく装置に導入できます。
  • クリーニングのために装置を止める必要はありません。
  • 低ノイズで、EB装置の近くに設置可能です。
オゾンガス供給機

オゾンガス供給機

主な仕様

オゾン濃度: 200g/m3
オゾン発生方式: 無声放電法
供給ガス流量: 最大 5.0sccm
原料ガス: ボンベ酸素、PSA酸素
原料ガス消費量: 50ml/min
冷却: 水冷

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