ホーム>電子線関連技術と製品>オゾン除害器

オゾン除害器

真空用オゾン除害器 OZ-1000

当社はこのたび、真空装置用の高効率オゾン除害器「OZ-1000」を開発いたしました。

従来製品のゼオライトに代わり、オゾン分解効率が、数倍高いマテリアルを開発したことにより、他社製品と比較し小型でかつコンダクタンスが同等でありながら、オゾン処理能力を高めることに成功しました。

 

OZ-1000

OZ-1000

OZ-1000L

OZ-1000L

  • 下流へ高濃度オゾンを流出させないために、オゾン除去装置が必要です。
  • 真空ポンプをオゾンで腐食させないために、真空用の除去装置が必要です。(特にTMPの背圧用ポンプ内はオゾン圧力が高くなるので不可欠となります)
  • 真空ポンプを守るためには活性炭などの発塵の多い材料を使用することができません。当社では、活性炭を使用しないオゾン除害器を開発しました。

オゾン除害器フロー

一番上に戻る

薬剤のオゾン処理能力評価

ポンプ排気口オゾン濃度

オゾンモニター A051020-SP61-01F(FIS)

濃度傾斜

 

薬剤の深さを変えて、オゾン処理能力を評価 (断面はΦ134mm:140cm2)

  1. 左図: 薬剤が深くなるほど、大流量でも漏れが小さくなる。
    OZ-1000の薬剤深さは60mm → オゾン流量5sccm時に確実に0.1ppm(TLV)以下
  2. 右図: グラフの傾斜を濃度傾斜(ppm/sccm)という評価値にすると、
    薬剤の深さのexpで濃度傾斜は小さくなる。
  3. 100sccmのオゾンを処理するには140mm以上(0.09ppm)の深さが必要 
    →OZ-1000Lの薬剤深さ180mm(0.02ppm)に反映

※薬剤の進歩と性能向上により、予告なく深さが浅くなることがあります。

一番上に戻る

用途に応じて2機種のモデルを用意

OZ-1000

標準モデル OZ-1000

①100L/min以上の大きなコンダクタンス

②5sccmの流量に対応

OZ-1000L

大流量対応モデル OZ-1000L

①50L/min以上のコンダクタンス

②100sccmの大流量に対応

 

一番上に戻る

標準モデル OZ-1000

 

名称 真空用オゾン除害器
型式 OZ-1000
機能
減圧下のオゾンを分解・除去
大きなコンダクタンス
仕様 入口オゾン濃度 15%以下
出口オゾン濃度 0.1ppm以下
最大処理流量 5sccm以下
コンダクタンス 100L/min以上
吸排気口 NW40
筐体材質 SUS304
外形 Φ216mm×138mm
重量 6.7Kg
寿命 10年(オゾン濃度10%)

オゾン処理能力の他社比較

20163112239.jpg

構成

名称 規格 数量(個)
真空用オゾン除害器 OZ-1000 1
センターリング NW40 2
クランプ NW40 2
ブランクフランジ NW40 2
 

OZ-1000

外観

一番上に戻る

大流量対応モデル OZ-1000L

名称 真空用オゾン除害器
型式 OZ-1000L
機能
減圧下のオゾンを分解・除去
仕様 入口オゾン濃度 15%以下
出口オゾン濃度 0.1ppm以下
最大処理流量 100sccm以下
コンダクタンス 50L/min以上
吸排気口 NW40
筐体材質 SUS304
外形 Φ139.8mm×299mm
重量 6.5Kg
寿命 10年(オゾン濃度10%)

オゾン処理能力の他社比較

20163112239.jpg

構成

名称 規格 数量(個)
真空用オゾン除害器 OZ-1000L 1
センターリング NW40 2
クランプ NW40 2
ブランクフランジ NW40 2
 

OZ-1000L

外観

一番上に戻る


注意事項

  • 保管方法 吸湿性があるので吸気/排気ポートをブランクフランジで密閉のこと。
  • 設置方法 ガスの流れる方向が鉛直方向となるよう設置すること。
  • 取扱方法 薬剤のペレットが破損するので、衝撃を与えないよう取り扱うこと。

一番上に戻る

お問い合わせ先

株式会社PARAM 

〒196-0033 東京都昭島市東町3-6-1

東京都立産業技術研究センター多摩テクノプラザ製品開発支援ラボ4

Tel: 042-519-2541 Fax: 042-519-2542

 

メールはこちらから

 

一番上に戻る

ページ上部へ