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オゾン供給機

EB装置用オゾンガス供給機

機能・特長

  • パーティクルが発生せず、窒素フリーで高濃度オゾンが生成可能。
  • 微量のオゾンガスを精度よく装置に導入できます。
  • クリーニングのために装置を止める必要はありません。
  • 低ノイズで、EB装置の近くに設置可能です。
オゾンガス供給機

オゾンガス供給機

主な仕様

オゾン濃度: 200g/m3
オゾン発生方式: 無声放電法
供給ガス流量: 最大 5.0sccm
原料ガス: ボンベ酸素、PSA酸素
原料ガス消費量: 50ml/min
冷却: 水冷

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オゾンクリーニングによるコンタミ抑制技術

オゾンクリーニングとは

SEMやEB露光装置などの真空装置へ、微量のオゾンガスを流しながら電子線を照射する事で、装置へのコンタミ成長を抑制する技術です。

成長したコンタミの除去に効果があります。

Moアパーチャ(Φ100μm)にEB照射

オゾンクリーニング無

オゾンクリーニング無

オゾンクリーニング有

オゾンクリーニング有

オゾンクリーニング系統図

201631123010.png

 

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オゾンクリーニングのメカニズム

下の①~④のサイクルで、真空内に成長したコンタミを除去していきます。

オゾンクリーニングのメカニズム01

  ①オゾン分子が物体の表面に吸着している所に
  電子を照射。

オゾンクリーニングのメカニズム02

  ②電子の照射エネルギーにより、分子が分解し、
  酸素ラジカル発生。

オゾンクリーニングのメカニズム03

  ③酸素ラジカルがコンタミ内の炭素・水素と反応し、
  取り去っていく。

オゾンクリーニングのメカニズム04

  ④新しいオゾン分子が吸着する。

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お問い合わせ先

株式会社PARAM 

〒196-0033 東京都昭島市東町3-6-1

東京都立産業技術研究センター多摩テクノプラザ製品開発支援ラボ4

Tel: 042-519-2541 Fax: 042-519-2542

 

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