ホーム>電子線高速描画システム技術>高輝度電子銃

高輝度電子銃

LaB6 熱電界放射型電子銃

20163112018.jpg

 

一番上に戻る

LaB6 平坦チップ埋め込みによる熱電界放射(TFE)電子銃

電子銃

支持体:LaB6と化学反応しないレニウム製の先鋭円錐体

均一照射量分布:PSB方式に適した平坦で均一な照射分布を目指す。

高輝度:>2×106A/cm2steradian

超寿命:12ヶ月以上

使用温度:1600-1700k

 

一番上に戻る

ページ上部へ