技術

1．高輝度均一照射長寿命電子銃

2． 小型レンズ
　　　　　　　　　　<25mm Φ :　　resolution <10nm

3．MA-PSB
　　　　　　　　　　Multi-axis　Programmable Shaped Beam
　　　　　　　　　　 ML2 from 10 to 30 WPH (300mm) / a unit tool