株式会社 PARAM　
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ＳＥＭ・検査装置のパターン形状計測精度の向上に威力を発揮します。
ＳＥＭ・ＥＢのコンタミ問題を解決いたします。
　　○ＳＥＭ・ＥＢ露光装置・ＥＢ検査装置のコンタミ防止ができます。
　　○ＳＥＭ・ＥＢ露光装置・ＥＢ検査装置のチャンバーのクリーニングができます。
　　○あなたのお持ちの装置に簡単に取り付けることができます。
　　　　　（試料を高倍率で走査した後、低倍率で中心に四角い走査跡が見えるのはコンタミネーションです。）
　　○ご相談は　株式会社PARAM へ 　　　　
　　　
オゾンクリーニング有り/無し比較
0.6umラインの一部をラインスキャンした場合
　　　　　
　　　　　
　　　　　
　　　　　
オゾン供給機PMX-E01 概略仕様

仕様
オゾン濃度 200g/m3
流量 最大5sccm
原料ガス ボンベ酸素、PSA酸素
供給圧力 0.4～0.5MPa
使用圧力 0.05 ～ 0.1MPa
冷却方式 水冷
冷却水 1 L/min　23℃以下
電源電圧 AC100V 50/60Hz
消費電力 200W
外形寸法 429W x 390D x 320H (19インチラックに収納可)
オゾン漏れ検知 筐体内で0.1ppm以上のオゾンを検知した場合は、オゾン生成・供給を停止し、アラームを発生します。
リモート制御 リモート制御可能：①放電開始・停止 ②オゾン供給開始・停止