会社概要
| 会社名 | 株式会社PARAM |
|---|---|
| 創立日 | 2010年4月8日 |
| 所在地 | 〒193-0931 東京都八王子市台町四丁目４４番４号 エクセルビル3階 |
| 資本金 | 4450万円 |
| 代表取締役 | 安田 洋 |
| 業務 | 超高速電子ビーム描画技術･要素技術の開発･製造・コンサルタント |
| TEL | 042-629-9852 |
| FAX | 042-629-9862 |
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| 従業員数 | 5名 |
沿革
| 2010．04 | 埼玉県蓮田市に資本金1500万円で設立 |
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| 2010．06 | 東京都昭島市東町3-6-1に移転 |
| 2011．01 | SEM/EUV汎用オゾンクリーニング装置開発 |
| 2011．01 | レニウムマウント電子銃発明 |
| 2011．10 | PSB（プログラマブル整形ビーム）システムによる超高速露光装置発明 |
| 2012．03 | コラムチャージアップフリー技術特許登録 |
| 2012．05 | EIPBN2012にてマルチアクシスマルチビーム発表 |
| 2012．06 | 資本金2950万円に増資 |
| 2012．11 | EB装置用永久磁石レンズ国内特許登録 |
| 2012．11 | 論文Multiaxis and multibeam technology for high throughput maskless E-beam lithographyがJ. Vac. Sci. Technol. B 30(6), Nov/Dec 2012に掲載 |
| 2013．06 | 真空用オゾン除害器（真空用オゾン分解器）開発 |
| 2014．04 | PSB電子ビーム描画装置 米国特許登録 USP8,878,143B2 |
| 2014．12 | 永久磁石レンズ開発 |
| 2015．01 | 半導体製造向け光学鏡筒の記事が日刊工業新聞に掲載 |
| 2015．03 | レニウムSchottky電子銃 米国特許登録 USP9,070,527B2 |
| 2015．05 | 永久磁石レンズを用いたマルチコラム用レンズ特許出願 2016.12 国内特許登録 |
| 2015．05 | EIPBN2015 にて永久磁石レンズ発表 |
| 2016．03 | Super LaB₆に関する現象の発見と開発 |
| 2017．07 | Super LaB₆の記事が日刊工業新聞に掲載 |
| 2017．07 | 資本金4450万円に増資 |
| 2017．10 | 東京都八王子市台町四丁目４４番４号に移転 |
| 主要取引銀行 | 西武信用金庫 三菱ＵＦＪ銀行 |
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| 主要取引先 | 日本電子株式会社 |
