機能・特長
- パーティクルが発生せず、窒素フリーで高濃度オゾンが生成可能。
- 微量のオゾンガスを精度よく装置に導入できます。
- クリーニングのために装置を止める必要はありません。
- 低ノイズで、EB装置の近くに設置可能です。
オゾンガス供給機
主な仕様
オゾン濃度： 200g/m3
オゾン発生方式： 無声放電法
供給ガス流量： 最大 5.0sccm
原料ガス： ボンベ酸素、PSA酸素
原料ガス消費量： 50ml/min
冷却： 水冷
EB装置用オゾンガス供給機
オゾン供給機
オゾンクリーニングによるコンタミ抑制技術
オゾンクリーニングとは
SEMやEB露光装置などの真空装置へ、微量のオゾンガスを流しながら電子線を照射する事で、装置へのコンタミ成長を抑制する技術です。
成長したコンタミの除去に効果があります。
Moアパーチャ(Φ100μm)にEB照射
オゾンクリーニング無
オゾンクリーニング有
オゾンクリーニング系統図
オゾンクリーニングのメカニズム
下の①～④のサイクルで、真空内に成長したコンタミを除去していきます。
①オゾン分子が物体の表面に吸着している所に電子を照射。
②電子の照射エネルギーにより、分子が分解し、酸素ラジカル発生。
③酸素ラジカルがコンタミ内の炭素・水素と反応し、取り去っていく。
④新しいオゾン分子が吸着する。
