当社はこのたび、真空装置用の高効率オゾン除害器「OZ-1000」を開発いたしました。
従来製品のゼオライトに代わり、オゾン分解効率が、数倍高いマテリアルを開発したことにより、他社製品と比較し小型でかつコンダクタンスが同等でありながら、オゾン処理能力を高めることに成功しました。
OZ-1000
OZ-1000L
- 下流へ高濃度オゾンを流出させないために、オゾン除去装置が必要です。
- 真空ポンプをオゾンで腐食させないために、真空用の除去装置が必要です。(特にTMPの背圧用ポンプ内はオゾン圧力が高くなるので不可欠となります)
- 真空ポンプを守るためには活性炭などの発塵の多い材料を使用することができません。当社では、活性炭を使用しないオゾン除害器を開発しました。