超高速電子ビーム描画技術・要素技術の開発・製造・コンサルティング
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オゾンガス供給機のページです。 微量オゾンのクリーニング効果で、真空装置内を清潔に保ちます。
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オゾン除害器は、オゾンを吸着&分解して無害な空気にして排出します。
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