株式会社 PARAM
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    製品
    1. オゾン供給器
    2.真空用オゾン除害器
    技術
    1.高輝度均一照射長寿命電子銃
    2. 小型レンズ
            <25mm Φ :  resolution <10nm
    3.MA-PSB
            Multi-axis Programmable Shaped Beam       
            ML2 from 10 to 30 WPH (300mm) / a unit tool

                       

株式会社PARAM   〒196-0033 東京都昭島市東町3-6-1
              東京都立産業技術研究センター多摩テクノプラザ製品開発支援ラボ2
Tel            042−519−2541
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