株式会社PARAM｜東京都八王子市超高速電子ビーム描画技術・要素技術・微細加工技術

オゾン供給機
電子ビーム描画・検査・SEM装置で描画・観察をしながら炭化水素膜（コンタミ）付着を防止、クリーン化。
オゾン除害機
オゾンを分解し、無害な酸素ガスとして排出。オゾン濃度は０．１ppm以下。
電子ビームコラム設計・製造・受託
大電流から、微小スポットの各種のご要望にお答えできる豊富で最適化した電子ビームコラム設計・製造に精通。
電子ビーム制御用電子回路の受託
電子ビームの走査・位置検出・安定化・各種制御回路技術の設計業務・製造業務に精通。制御ソフトウェア開発業務に精通。

マルチビームマルチコラムシステム
永久磁石を用いた小型コラムを100本以上束にしたマルチコラム。1本のコラムの中は5nm以下のビームが正方格子状に1600本以上並ぶ。各ビームが独立に点滅する。
高輝度電子銃
低仕事関数電子銃。1.8eV～2.1eVの仕事関数を実現。低仕事関数化により高輝度、または高寿命を得る事が可能。
小型レンズ
主磁界に永久磁石を用いた小型レンズ。コラムを微細径～20mm程度に抑制し、300mmウェハ上に170本までのコラムを並べる。補正コイルを用いて磁界強度を補正する。

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