株式会社 PARAM
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　　　 製品
　　　　１．オ　　ゾ　　 ン供給器
　　　　２．真空用オゾン除害器
　　　　技術
　　　　1．高輝度均一照射長寿命電子銃
　　　　2． 小型レンズ
　　　　　　　　　　　　<25mm Φ :　　resolution <10nm
　　　　3．MA-PSB
　　　　　　　　　　　　Multi-axis　Programmable Shaped Beam 　　　 　　
　　　　　　　　　　　　ML2 from 10 to 30 WPH (300mm) / a unit tool

　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　　　

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