株式会社 PARAM
　　ﾄｯﾌﾟﾍﾟｰｼﾞ 　　ご挨拶 　　会社/沿革 　　製品/技術 　　論文 　　アクセス




　　　 製品
　　　　１． オゾンクリーニングユニット
　　　　２．Surface型高精度長寿命ステージ
　　　　技術
　　　　1．高輝度均一照射長寿命電子銃
　　　　2． 小型レンズ
　　　　　　　　　　　　<25mm Φ :　　resolution <10nm
　　　　3．MA-PSB
　　　　　　　　　　　　Multi-axis　Programmable Shaped Beam 　　　 　　
　　　　　　　　　　　　ML2 from 10 to 30 WPH (300mm) / a unit tool

　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　　　

株式会社PARAM　　　〒196-0033　東京都昭島市東町3-6-1
　　　　　　　　　　　　　　東京都立産業技術研究センター多摩テクノプラザ製品開発支援ラボ２
Tel　　　　　　　　　　　　042−519−2541
Fax　　　　　　　　　 　　042−519−2542
E-mai　　　　　　　　　　info@param.co.jp