株式会社 PARAM　
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製品/技術
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製品
１． オゾンクリーニングユニット
２．Surface型高精度長寿命ステージ


技術
1．高輝度均一照射長寿命電子銃
2． 小型レンズ
　　　　　　　　　　<25mm Φ :　　resolution <10nm
3．MA-PSB
　　　　　　　　　　Multi-axis　Programmable Shaped Beam
　　　　　　　　　　 ML2 from 10 to 30 WPH (300mm) / a unit tool


株式会社PARAM
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Fax
E-mai

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