オゾン除害器

当社はこのたび、真空装置用の高効率オゾン除害器「OZ-1000」を開発いたしました。

従来製品のゼオライトに代わり、オゾン分解効率が、数倍高いマテリアルを開発したことにより、他社製品と比較し小型でかつコンダクタンスが同等でありながら、オゾン処理能力を高めることに成功しました。

• 下流へ高濃度オゾンを流出させないために、オゾン除去装置が必要です。
• 真空ポンプをオゾンで腐食させないために、真空用の除去装置が必要です。（特にTMPの背圧用ポンプ内はオゾン圧力が高くなるので不可欠となります）
• 真空ポンプを守るためには活性炭などの発塵の多い材料を使用することができません。当社では、活性炭を使用しないオゾン除害器を開発しました。

1. 左図：　薬剤が深くなるほど、大流量でも漏れが小さくなる。
   OZ-1000の薬剤深さは60ｍｍ　→　オゾン流量5sccm時に確実に0.1ppm（TLV）以下
2. 右図：　グラフの傾斜を濃度傾斜（ppm/sccm)という評価値にすると、
   薬剤の深さのexpで濃度傾斜は小さくなる。
3. 100sccmのオゾンを処理するには140mm以上（0.09ｐｐｍ）の深さが必要
   →OZ-1000Lの薬剤深さ180mm（0.02ｐｐｍ）に反映

• 保管方法　吸湿性があるので吸気/排気ポートをブランクフランジで密閉のこと。
• 設置方法　ガスの流れる方向が鉛直方向となるよう設置すること。
• 取扱方法　薬剤のペレットが破損するので、衝撃を与えないよう取り扱うこと。