Multi-Axisコラムでは、複数の電子光学系をできるだけ狭い間隔で多数並べる事で、スループットの向上を図っています。ビームの本数を増やすためには、電子レンズの小型化・低消費電力化が必須です。PARAMでは、永久磁石を使った小型・低消費電力の磁界レンズの開発に取り組んでいます。
従来の電磁レンズ（外径＞Φ100mm）
小型永久磁石レンズ（多数配置可能）
小型レンズ
永久磁石レンズの動作確認
外径27ｍｍの永久磁石レンズを試作し、SEMを使ってこの試作レンズの基本特性を評価しました。SEMの対物レンズの下に試作レンズを配置し、このレンズによって収束させたビームによるSEM観察を行う事で、レンズの収束動作を確認しています。
SEM(JEOL:JSM-5310LV)
小型永久磁石レンズの動作確認
SEMの電子ビーム（30Kev）を永久磁石レンズに通したときと通さない時で、ほぼ同様なSEM像が得られました。この事から、永久磁石レンズの収束作用と縮小率と低収差である事、これらがシミュレーションと一致することを確認しました。
※上の2つのSEM像のS/Nの違いは、検出器への見込み角によるものです
